MT溶解臭氧傳感器(pureO3)安裝示意圖

制藥用水臭氧化系統(如下圖1所示)通常使用三個臭氧測量點:

1.  下面是臭氧化儲水罐。

2.  跟隨紫外線臭氧破壞燈確認沒有臭氧進入配電回路。

3.在分配回路的末端，在消毒過程中，在紫外線臭氧破壞燈關閉的情況下，驗證足夠的臭氧水平已到達整個分配回路。

圖1:典型的制藥臭氧回路

微電子超純水系統通常不會因消毒而關閉，并且省略了第三個測量點。